近日,材料學院劉新科博士的高壓氮化鎵肖特基二極管的研究成果被Semiconductor Today專題報道。文章指出相比較在藍寶石襯底或硅基襯底上異質外延的氮化鎵材料,在自支撐(free-standing)氮化鎵襯底上同質外延的氮化鎵材料具有無法比擬的突出特點,即材料缺陷密度超低(105-106 cm-2),相比異質氮化鎵外延材料(1010-1012cm-2)。具有超低材料缺陷密度的自支撐氮化鎵可以提高其器件的可靠性。因此,自支撐氮化鎵電力電子器件,被認為是繼硅基功率器件后,可應用于下一代電力轉化系統(DC/DC,DC/AC,AC/DC)的關鍵元器件。另外,劉博士在高壓氮化鎵肖特基二極管主張開展無金的硅基CMOS兼容的材料和工藝的特色研究,因為金元素在硅基材料中是電子捕獲復合的深能級缺陷,不利于將來采用硅基代工廠來實現氮化鎵器件的量產。該研究得到了國家自然科學基金,深圳市基礎研究布局的多項資金支持。
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